上海企业展出EUV光刻样机，能做什么却未说明

上海一家新创企业在工博会展出EUV光刻设备样机，但公开信息没有说明它具备哪些功能，更无法证明它已达到晶圆厂量产要求。企业介绍的研发重点是EUV光源；从光源研发走到整机生产，仍隔着性能验证和系统集成两道硬关。